Появление первого серийного заказчика означает переход проекта от опытной разработки к промышленной эксплуатации. Следующая установка предназначена для «Отраслевых решений» группы «Элемент», с которыми ЗНТЦ ранее заключил договор на поставку первой машины. Теперь стало известно, что первым получателем серийного литографа станет «Маппер».
350 нм: от опытного образца к серийному оборудованию
«Прогресс СТП-350» относится к классу установок совмещения и проекционного экспонирования. Фотолитограф переносит изображение фотошаблона на кремниевую пластину, после чего процесс повторяется для формирования многослойной структуры микросхемы.
Машина рассчитана на пластины диаметром до 200 мм и имеет рабочее поле 22×22 мм. Заявленная производительность составляет до 63 пластин диаметром 150 мм или до 43 пластин диаметром 200 мм в час.
В качестве источника света используется твердотельный лазер вместо традиционной ртутной лампы. Рабочая длина волны указывается на уровне 365 нм, а разрешение установки — 350 нм.
Технологическая норма 350 нм сегодня находится далеко от передовых мировых производственных процессов: крупнейшие производители полупроводников освоили массовый выпуск значительно более миниатюрных компонентов. Однако для целого ряда изделий переход на более тонкие нормы не является обязательным.
Такие технологии используются в силовой и автомобильной электронике, промышленных системах и других устройствах, где важнее доступность производства, надёжность и возможность изготавливать специализированную элементную базу, чем максимальная плотность транзисторов. Именно на эти сегменты российские разработчики рассчитывают при внедрении отечественного оборудования.
«Маппер» станет первым промышленным заказчиком
Первым получателем установки станет «Маппер» — расположенная в Технополисе «Москва» МЭМС-фабрика, специализирующаяся на выпуске чувствительных элементов на кремниевых пластинах. Предприятие располагает около 1,5 тыс. м² чистых помещений, более чем 30 единицами оборудования и мощностью до 5 тыс. пластин в год.
Сейчас «Маппер» вместе с «Астроном» участвует в проекте по серийному производству инфракрасных матриц для беспилотников и тепловизоров. К 2028 году в рамках этого направления в России планируется выпускать около 11,5 тыс. инфракрасных детекторов в год.
Для такого производства собственный литографический комплекс имеет не только технологическое, но и стратегическое значение. Он должен обеспечить доступ к оборудованию для зрелых процессов, обслуживание которого после введения западных санкций стало существенно сложнее.
Цена литографа: импортозамещение против мировой конкурентоспособности
Стоимость установки остаётся одной из наиболее обсуждаемых характеристик проекта. В конце 2025 года коммерческое предложение на «Прогресс СТП-350» составляло около 392 млн рублей без НДС с учётом доставки, монтажа и обучения персонала. Расширенный вариант с сервисным обслуживанием и дополнительной пятилетней гарантией оценивался в 561 млн рублей.
Эксперты отмечают, что такая цена на десятки процентов ниже зарубежных установок сопоставимого класса. Другие участники российского рынка называли её сопоставимой с иностранными аналогами.
При этом руководитель «Троичных технологий» Александр Тимошенко указывал, что с точки зрения мирового рынка цена выглядит высокой относительно технических характеристик. С точки зрения импортозамещения и формирования собственной компетенции в фотолитографии она может быть оправданной.
Это один из ключевых вопросов для отечественного литографического проекта: сможет ли серийное производство снизить стоимость оборудования и обеспечить экономическую эффективность для российских фабрик, или основным преимуществом машины останется доступность поставки и обслуживания внутри страны.
Российская разработка с белорусским участием
Отдельный вопрос — степень локализации машины. ЗНТЦ официально называет разработку отечественной и говорит о создании линейки российских литографов, однако установка 350 нм была создана в партнёрстве с белорусским «Планаром».
В отраслевых публикациях обращалось внимание на то, что «Планар» имеет собственные разработки оборудования этого класса, в том числе установку ЭМ-5884 на 350 нм. Поэтому корректнее говорить не о полностью локализованной с нуля российской машине, а о российско-белорусской разработке, в которой ЗНТЦ отвечает за технологический процесс и значительную часть инженерной составляющей.
Сам ЗНТЦ рассматривает 350-нм проект как первый этап перехода к более глубокой локализации. Для промышленной эксплуатации важен не только факт выпуска первой машины, но и способность воспроизводить её производство, обслуживать оборудование и развивать следующие поколения установок.
Следующий шаг — литограф на 130 нм
В августе 2026 года ЗНТЦ завершил очередной этап опытно-конструкторских работ по литографу на 130 нм. Для него используется эксимерный лазер с длиной волны 193 нм — источник, применяемый в мировой DUV-литографии.
Опытный образец рассчитан на пластины диаметром до 200 мм. Работы по проекту обошлись примерно в 5,7 млрд рублей. При этом речь пока идёт именно об опытной машине: перед серийным выпуском ей предстоит пройти серию испытаний и отработку базовых технологических процессов.
В ЗНТЦ рассчитывают начать заключение контрактов на серийные поставки 130-нм установок в 2027 году.
Таким образом, «Прогресс СТП-350» закрывает критически важную задачу — создание собственной производственной базы для зрелых технологических процессов. Если поставка «Мапперу» состоится в заявленные сроки, Россия получит не очередной опытный образец, а первый серийный продукт собственной литографической программы.
Однако настоящий масштаб этого достижения будет определяться не только фактом поставки. Важнее, сможет ли отечественная промышленность превратить единичную машину в устойчивую серию, а затем использовать накопленные компетенции для перехода к более сложным технологическим нормам.
Источник: https://hightech.plus/2026/09/13/postavki-pervogo-seriinogo-rossiiskogo-litografa-nachnutsya-v-dekab...Если вам понравился материал, кликните значок — вы поможете нам узнать, каким статьям и новостям следует отдавать предпочтение. Если вы хотите обсудить материал —не стесняйтесь оставлять свои комментарии : возможно, они будут полезны другим нашим читателям!
