Контроль качества — ключевой аспект в производстве изделий микроэлектроники. Однако современные микросхемы настолько малы и сложны, что требуют высокоточных систем для выявления дефектов на микроуровне.
Российские инженеры разработали семейство интеллектуальных роботов-инспекторов для решения этой задачи. Эти устройства анализируют микросхемы на разных этапах производства, используя алгоритмы машинного зрения. Результаты проверки в реальном времени отображаются на мониторе, что позволяет быстро выявлять дефекты и устранять причины их возникновения.
«Возможности человеческого зрения ограничены, когда речь идёт о размерах устройств в несколько микрон. Робототехнический комплекс решает эту проблему, оснащаясь различными камерами, электронными микроскопами и искусственным интеллектом для выявления дефектов в оптическом диапазоне, а также другими датчиками», — сообщил один из разработчиков системы, старший инженер АО «ЦКБ „Дейтон“» Вячеслав Малышев.
По словам специалиста, роботы могут обнаруживать такие дефекты, как трещины, царапины, сколы, вызванные нарушениями производственного процесса, а также непропечатанные фрагменты, перекосы, неоднородности, обрывы дорожек, пыль и остатки химикатов. Размеры тестируемых изделий могут варьироваться от 0,1 мм до 300 мм, а максимальное разрешение камеры составляет до 3 микрон. При этом скорость проверки достигает 1 кв. см в секунду.
Если вам понравился материал, кликните значок - вы поможете нам узнать, каким статьям и новостям следует отдавать предпочтение. Если вы хотите обсудить материал - не стесняйтесь оставлять свои комментарии : возможно, они будут полезны другим нашим читателям!
