TEM-F200 разработан компанией CIQTEK, расположенной в Хэфэе. Согласно опубликованным характеристикам, точечное разрешение прибора составляет 0,25 нм, а информационный предел разрешения — 0,1 нм. Эти показатели относятся к разным характеристикам изображения: точечное разрешение определяет способность различать близко расположенные объекты, тогда как информационный предел характеризует минимальный пространственный период, информацию о котором оптическая система микроскопа способна передавать в изображение.
18 октября 2026 года CIQTEK официально представила TEM-F200 на Национальной конференции по электронной микроскопии в Нанкине. Как сообщает китайское издание Science and Technology Daily, разработка знаменует переход отечественной отрасли высокоточной электронной микроскопии от исследований и разработки к промышленному выпуску оборудования.
Председатель CIQTEK Хэ Юй заявил, что TEM-F200 предназначен для получения изображений высокого разрешения и анализа дефектов в передовых материалах и полупроводниках. По его словам, благодаря продолжительным исследованиям и разработкам компания достигла уровня готовности, позволяющего выпускать приборы серийно и поставлять их заказчикам.
Генеральный секретарь подразделения аналитических приборов Китайского общества приборов и управления У Айхуа отметил, что микроскоп может применяться не только в материаловедении и полупроводниковой промышленности, но и в биомедицинских исследованиях. Освоение подобных приборов внутри страны должно снизить зависимость китайских научных организаций и предприятий от зарубежных поставщиков аналитического оборудования.
От светового микроскопа к атомному масштабу
Световая микроскопия, получившая развитие в XVII веке, позволила исследователям изучать объекты, недоступные невооружённому глазу. Однако разрешение обычных оптических микроскопов ограничено дифракцией света и, как правило, составляет около 200–250 нм. Этого недостаточно для непосредственного изучения многих наноструктур, вирусных частиц и деталей клеточных структур.
Появление электронных микроскопов в первой половине XX века открыло возможность исследовать значительно более мелкие объекты. Вместо видимого света в них используются электроны, ускоренные электрическим полем. Благодаря меньшей длине волны электронов по сравнению со светом такие приборы способны передавать информацию о структурах на нанометровом и атомном уровнях.
Трансмиссионный электронный микроскоп (TEM) формирует изображение с помощью электронов, прошедших через тонкий образец. Электронно-оптическая система формирует изображение, которое регистрируется детектором. Анализ полученных данных позволяет изучать кристаллическую структуру материалов, границы раздела, тонкие плёнки и микроскопические дефекты.
Многие современные TEM также поддерживают сканирующую трансмиссионную электронную микроскопию (STEM). В этом режиме сфокусированный электронный пучок последовательно перемещается по образцу, а сигналы от прошедших через него и рассеянных электронов регистрируются детекторами. Такой подход позволяет получать изображения с высоким контрастом и проводить элементный анализ, в том числе на атомном уровне при соответствующих конфигурации прибора и условиях исследования.
Ускоряющее напряжение 200 кВ широко используется в современных трансмиссионных электронных микроскопах. Оно обеспечивает высокую проникающую способность электронов, но само по себе не определяет разрешение: важны также характеристики электронной пушки, объективных линз, механическая и электрическая стабильность, система регистрации и обработка данных. При этом электронное облучение может повреждать чувствительные образцы, поэтому выбор режима работы требует компромисса между качеством изображения и сохранностью исследуемого материала.
Электронная микроскопия стала одним из ключевых инструментов материаловедения, биологии, нанотехнологий и производства полупроводников. В микроэлектронике такие приборы используют для изучения структуры многослойных соединений, выявления дефектов, анализа границ между материалами и исследования причин отказов микросхем.
Рынок, на котором доминируют международные производители
Мировой рынок высокопроизводительных трансмиссионных электронных микроскопов представлен ограниченным числом крупных производителей. Среди них — американская Thermo Fisher Scientific, японские JEOL и Hitachi, а также другие компании, выпускающие специализированное аналитическое оборудование.
В частности, Thermo Fisher Scientific предлагает электронные микроскопы, разработанные для научных исследований и промышленного анализа. Японская JEOL также выпускает линейку TEM с ускоряющим напряжением 200 кВ. У ведущих приборов этого класса информационный предел разрешения может составлять около 0,11–0,12 нм в зависимости от модели и конфигурации.
На рынке присутствует и американская Bruker, в портфель которой входит специализированное оборудование для электронной микроскопии, включая системы Nion. Такие приборы ориентированы, в частности, на высокоразрешающую сканирующую трансмиссионную электронную микроскопию.
Заявленный информационный предел разрешения TEM-F200 на уровне 0,1 нм позволяет отнести его характеристики к классу ведущих универсальных приборов с ускоряющим напряжением 200 кВ. Однако сравнение только по одному параметру не даёт полной картины. Для оценки реальной конкурентоспособности необходимо учитывать разрешение в различных режимах, стабильность работы, возможности элементного анализа, программное обеспечение, удобство эксплуатации, стоимость владения и качество сервисной поддержки.
Китай последовательно осваивает производство электронных микроскопов
Долгое время китайские научные организации и промышленные предприятия в значительной степени зависели от зарубежных поставщиков трансмиссионных электронных микроскопов. Высококлассные системы могут стоить сотни тысяч и даже миллионы долларов, а их эксплуатация требует специализированного обслуживания, квалифицированных инженеров и доступа к запасным частям.
В последние годы Китай последовательно развивает собственное производство такой аппаратуры.
В 2024 году лаборатория Bioland Laboratory в Гуанчжоу представила TH-F120 — коммерческий трансмиссионный электронный микроскоп с полевой эмиссией, разработанный при участии лаборатории и выпускаемый CIQTEK. Прибор работает с ускоряющим напряжением до 120 кВ. В зависимости от исполнения производитель заявляет точечное разрешение 0,30–0,36 нм и информационный предел 0,14–0,20 нм.
В 2025 году компания Suzhou Bozhon Instrument Technology представила BZ-F200 — коммерческий трансмиссионный электронный микроскоп с ускоряющим напряжением 200 кВ. По данным Science and Technology Daily, это стало ещё одним этапом освоения Китаем производства оборудования данного класса.
В мае 2026 года Китайская академия наук сообщила о создании Aeye-1, системы электронной микроскопии с применением искусственного интеллекта. Разработка отражает стремление китайских исследовательских организаций не только совершенствовать электронно-оптические системы, но и автоматизировать управление прибором и анализ получаемых данных.
Ещё одно направление — криоэлектронная микроскопия. Эта разновидность трансмиссионной электронной микроскопии позволяет получать данные для построения трёхмерных структур биомолекул, включая белки, и имеет большое значение для структурной биологии и разработки лекарственных препаратов. Китайские компании и научные центры стремятся создать собственные решения в этой области, где также сохраняется высокая конкуренция с зарубежными разработчиками.
Наконец, 19 октября 2026 года CIQTEK объявила о выпуске TEM-F120 — модели с ускоряющим напряжением до 120 кВ, предназначенной для исследований в области наук о жизни и материаловедения.
От импортозамещения к реальной конкуренции
Выход TEM-F200 на этап серийного производства и поставок — важный шаг для китайской индустрии научного приборостроения. Для производителей полупроводников, материалов и исследовательских организаций появление отечественной альтернативы может означать расширение выбора оборудования, снижение зависимости от внешних поставок и повышение доступности высокоточной аналитики.
При этом заявленные характеристики — лишь часть оценки. Реальное положение TEM-F200 на рынке будет зависеть от результатов независимых испытаний, воспроизводимости измерений, надёжности прибора при длительной эксплуатации и способности производителя обеспечить поставки, сервис и техническую поддержку. Не менее важны цена и совместимость с существующими лабораторными процессами.
Китай уже продемонстрировал, что способен создавать собственные электронные микроскопы и постепенно расширять их функциональность. Теперь ключевой вопрос заключается в том, удастся ли превратить отдельные технологические достижения в устойчивое конкурентное преимущество.
Источник: https://www.scmp.com/news/china/science/article/3371401/chinas-new-01-nanometre-electron-microscope-...
Если вам понравился материал, кликните значок — вы поможете нам узнать, каким статьям и новостям следует отдавать предпочтение. Если вы хотите обсудить материал —не стесняйтесь оставлять свои комментарии : возможно, они будут полезны другим нашим читателям!
