Фильтр по тематике
Использование углеродных нанотрубок для отвода тепла от элементов интегральных схем
Статья посвящена использованию механических и тепловых свойств углеродных нанотрубок для отвода тепла от мощных элементов гибридных интегральных схем (ГИС). В ней рассматриваются нанотрубочные структуры, состоящие из пластины, выполненной из керамики на основе нитрида алюминия, с выращенным на её поверхностях слоем вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (УНТ), обладающих высокой теплопроводностью вдоль своей вертикальной оси, пропитанных кремнием с образованием карбида кремния на поверхностях УНТ и с нанесённым поверх пропитанных УНТ слоем металлизации. Полученные структуры предназначены для использования в качестве теплоотводящей электроизолирующей подложки при изготовлении мощных интегральных микросхем и силовых полупроводниковых приборов, позволяют снизить тепловое сопротивление, повысить кондуктивную теплопроводность структуры и эффективность отвода тепла от тепловыделяющего активного элемента к теплосъёмнику. СЭ №1/2020 40 0 0
электроника
Теплоотводы на основе нитрида алюминия с алмазным покрытием
Повышение степени интеграции изделий радиоэлектроники приводит к повышению локальных или распределённых по всей площади тепловых нагрузок, обуславливает обострение проблемы перегревов, для решения которой требуется создание эффективных теплоотводов. В работе описывается конструкция и технология изготовления теплоотводов с использованием керамики из нитрида алюминия с алмазным покрытием, полученным путём осаждения поликристаллических плёнок из газовой фазы. Показана целесообразность применения данной технологии для изготовления теплоотводов на основе нитрида алюминия с повышенной теплопроводностью. СЭ №6/2017 45 0 0
