Фильтр по тематике
электроника
Влияние электронного облучения на характеристики плёнок нитрида кремния
В статье приведены результаты исследования изменения физических характеристик и химического состава плёнок нитрида кремния, осаждённых в плазмоактивируемом силаново-аммиачном процессе, под воздействием электронного облучения различной энергии с дозой 27,1 мкКл. Показано, что электронное облучение не изменяет толщину плёнок нитрида кремния, но приводит к уменьшению показателя преломления и уменьшению содержания кремния на облучённых участках плёнки нитрида кремния. Эти факты необходимо учитывать при проведении электронно-микроскопических исследований и плазменных обработок плёнок нитрида кремния. СЭ №2/2017 142 0 0