Фильтр по тематике
электроника
Центр аттестации технологического оборудования – необходимое звено в цепи микроэлектронного производства
В статье обосновывается необходимость создания в России центра аттестации технологического оборудования (ЦАТО), который позволит сертифицировать установки под определённый уровень микроэлектронной технологии и на соответствие требованиям экологических стандартов. Рассмотрены виды аттестации оборудования, а также основные функции, состав и структура ЦАТО. СЭ №4/2015 168 0 0