Медиана-Фильтр: честно о чистой воде

Текст интервью получен посредством автоматического распознавания речи 
и не подвергался редактированию, в связи с чем возможны ошибки и неточности.

Медиана-Фильтр: честно о чистой воде

00:44
Наверное, компанию вашу особо представлять не нужно, потому что её, в общем, все знают, по крайней мере, на этом рынке.

Да, но мы давно в этой отрасли работаем. Я сам в компании работаю с 2003 года. И один из первых моих проектов как технолога был как раз в этой отрасли, связанной с микроэлектроникой, тогда ещё в Протоне. 

И с чем мы из года в год сталкивались многие десятилетия, что в России отсутствуют стандарты по водоподготовке на русском языке. В принципе, это такая характерная история, когда фарма, микроэлектроника — это полные такие клоны наших дружественных или недружественных партнёров. И все пользуются этими документами, они на английском языке часто обновляются, но мы пришли, понимаете, к тому, что сейчас многие документы стали недоступны.

Ну и потом, загонять всегда неблагодарное занятие. Поэтому в какой-то момент мы накопили уже такой опыт, когда выпущенный ГОСТ 71994, в принципе, по содержанию, он уже превосходит стандарты, особенно в части классификации воды, типов, частоты. Он превосходит уже ASTM американский и Международную организацию SEMI, не потому что мы такие умные, а только потому что существует глобальная такая организация, которая выпускает ожидания к качеству различных сред, в том числе с учётом роста, ну скажем, топологии, требований.

Они тоже придут со временем к этому, есть ожидания. Мы просто чуть вперёд опубликовали эти ожидания, ввели новый тип воды, и наши производители могут не перелопачивать просто какие-то огромные тонны документов, а получить действующий рабочий стандарт, который ничего не выдумывает, но просто на 25-й год мы консолидировали всё, что известно в этой области, и объединили в стандарт, самое главное, на русском языке, и студенты. Потому что, на самом деле, для микроэлектроники, ну вот на этой выставке вы, наверное, видели, что вода – это очень малая часть, несмотря на то, что её требуется очень много.

Но с точки зрения технологии – это такая маленькая часть, и вот я был на выставке в Китае, тоже по микроэлектронике, там всего несколько компаний, которые занимаются водоподготовкой. Поэтому мы хотели обратить внимание как раз на этот стандарт, который мы выпустили на русском языке, для того, чтобы привлечь внимание, в том числе и производителей, у которых есть вода, которой они пользуются, для того, чтобы они уже просто им пользовались.


03:18 
Ну вот вы приняли стандарт, отечественный стандарт, вы активное участие принимали в разработке, я так понимаю, да? Ну, стандарт принят. Теперь получается, что системы водоподготовки в основном, они все же не отечественного производства, не будут соответствовать новому российскому стандарту.

Мы сделали как? Ну вот если посмотреть в стандарте 4, если выбирать самые высокого качества воды, 3 типа воды, там Е1-1 и до Е1-3. Мы ввели ещё дополнительный тип, просто которого нет в других стандартах.

А все предыдущие, существующие, они гармонизованы. Все гармонизировано на самом деле, причем гармонизировано как с ASTM, так и с SEMI. Поэтому, в принципе, у всех предприятий есть и внутренние стандарты, а так как они пытаются гармонизироваться с международными, я думаю, не должно быть никаких проблем.

Но это просто некий, ну такое, скажем, мы подвели черту под своим большим опытом в этой области и положили её на бумагу, для того, чтобы проектные организации могли пользоваться, уже ссылаясь на что-то. Ну, с одной стороны, может быть, мы несколько убили и раскрыли какие-то карты перед консалтингом, различными консультантами. Но, с другой стороны, ну, нужно обмениваться знаниями, те, которые уже есть, а не прятать их и продавать. В принципе, это общеиздоступные знания.


04:47
Я в этом деле, честно могу признаться, абсолютный дилетант, поэтому хочу для себя, может быть, лично прояснить вопрос. Вот как можно вообще улучшать систему водоподготовки, которая и так выдаёт чистые H₂O, в котором нет ни одной молекулы примесей?

Ну, вот в этом и нюанс, да. Вот те типы воды, о которых мы сейчас ведём речь, там разница в минус шестой, в минус девятой степени концентрации. То есть, фактически, всё-таки не чистая вода.

И там на сотню молекул воды одна-две молекулы других примесей. На самом деле, для современной водоподготовки основная проблема – это частицы. Вот обсуждали тут недавно с нашим гостем, нашего стенда, о том, что это глобальная самая проблема – частицы, потому что частицы бывают совершенно разные, и их количество как раз и влияет на качество, на качество объёма и выхода продукта, сколько будет годных микросхем. Если частиц будет много в воде, ну, соответственно, они за...


05:51
Но частицы – это имеется в виду не молекулы, а макрочастицы, скажем так.

Здесь тоже есть проблема, когда агрегацию молекул считать частицами. Вот современные требования – это 10 нанометров. 10-50 нанометров – это современные требования к наличию таких частиц, и их контролируют.

Ниже 10 нанометров уже не контролируют. Но есть, например, такие вещества, которые сначала вроде они не частицы, но потом после нескольких обработок с ними происходит что-то, что они слипаются и превращаются в частицы. Их сначала не было, а потом они появились. Так называемые прекурсоры частиц. Об этом в старых стандартах не было ничего сказано. Это вот только появились последние...

Вот у СЭМИ такой стандарт появился 2 года назад. Если я не ошибаюсь, 2 или 3 года назад. Мы как раз уже тоже эти данные с этого стандарта использовали для того, чтобы внести в свой стандарт.

Так что это тоже там есть.


06:51
Насколько востребованы вот эти повышенные требования к воде с точки зрения отечественных производств микроэлектроники?

На самом деле, конечно, стандарт, наверное, опережает наше фактическое производство. Наверное, лет на 15. 

Но здесь в чем суть была? В том, чтобы задать некую планку, в которой производитель свободно мог оперировать. То есть этот стандарт, он может и устареет через какое-то время, но устареет только в ссылочной части. А в части требований и классификации, ну, наверное, это уже окончательно.

Потому что уже чище воды, чисто физически трудно представить, если только придумают какую-нибудь технологию, где воду не используют. Конечно, у нас сейчас такая задача поднять топологию микросхем до 28 нанометров, хотя весь современный мир говорит... 

Хорошо бы до 80 хотя бы. 

Ну, хорошо, до 80. Вот здесь в стандарте приведена как раз топология до 28 нанометров.


07:53
На вырост для технологов, чтобы они привыкали, обучались и понимали, что есть в их распоряжении, в принципе. Какова доля отечественного оборудования в области водоочистки? Какова динамика соотношения отечественного с импортным?

Здесь, конечно, ситуация не очень хорошая, особенно это связано с тем, что используют ультра-чистые материалы. Ультра-чистые материалы... Вот я был на выставке в Китае.

Приблизительно по объему вот наша выставка, она приблизительно стоит одну треть от той, которая была там. Причем там только чипы, там нет применений в виде готовых продуктов уже. То есть это отдельная выставка.

И на что я обратил внимание, что там есть отдельные павильоны, которые, их три было, которые называются импортозамещение электронных компонентов внутри Китая. То есть я надеюсь, что мы когда-то тоже сможем такую, хотя бы один павильон сделать, импортозамещение именно компонентов, химии, которая используется при производстве, вспомогательных систем, к которым относятся к водоподготовка. Я к чему веду?

Много, что используется отечественное, но в основном это связанное с предварительной подготовкой. Вот мы, допустим, делаем вот такие фильтры. У нас большое производство.

Для микроэлектроники вначале, для подготовки воды, которую мы забираем со скважины, нужно обезжелезить, удалить взвешенные вещества. И вполне подходят вот такие фильтры из стали для того, чтобы предварительно подготовить воду. У нас есть производство мембран отечественных, которые тоже подходят для обессоливания, мембран обратного осмоса.

Поэтому что-то уже есть. У нас есть самая главная компетенция в микроэлектронике. Вот если взять еще, наверное, лет 10 назад, какая ситуация была, были компании западные, которые приходили сюда и делали инженеринг.

Допустим, собирали трубопроводы ультра чистой воды. Они собираются в специальных условиях вокруг участка, где идет сварка, создают определенные условия по частицам в воздухе. И происходит сборка.

При этом туда не допускали отечественных компаний. Это как раз этот сварочный аппарат. Мы, конечно, были всегда удивлены. Там ничего такого сложного нет. Но мы не пускали в эту область. Мы сейчас освоили эту область. То есть сейчас импортозамещение идет не только в материалах, которые мы находим и в Азии все-таки, потому что большой там рынок производства. И они подтягиваются, они понимают, что им тоже надо же их импортозамещать самим. Но и в технологиях.

То есть собрать правильно. Можно сварить трубопровод из чистых материалов, хороших, но ненадлежащим способом. Кстати, о том, как это делать, тоже в ГОСТе указано. И получится система, которая не дает нужную воду. Там будут фонить частицы, если в грязных условиях собраны. Ну и так далее.

Сам трубопровод может идти в подвале. Там могут быть земляные, условно, полы. Или бетонные. Туда могут попасть кальций, алюминий, цинк. Все, раз туда попав они будут по стандарту где-то до 8 недель. Вот систему включили. Она может 8 недель отмываться. Это считается нормальным. Значит, вы хорошо все сделали. А некоторые системы отмываются до года. Представляете, какие издержки. То есть год вода льется просто в канализацию.


11:13
Очищенная, дорогущая вода сливается в канализацию.

Поэтому, действительно, ошибки высока. И вот мы для себя как раз находимся на том этапе, когда мы освоили эту технологию изготовления трубопроводов, выбора материалов для получения гарантированно качественной воды. Это была довольно сложная история, потому что так сложилось, что до определенного времени туда не пускали отечественных производителей, считая, что мы недостойные или еще что-то.


11:40
То есть это ваше ноу-хау, получается.

Фактически, да.


11:44 
Это вы для, скажем, служебного пользования установку эту разработали для себя?

Таких установок у нас где-то 4. Мы недавно купили еще китайскую, после посещения выставки. В самой этой установке нет ноу-хау. Это производство Швейцария. Есть производство Китая. Здесь вопрос, как ее использовать. В каких условиях. То есть нужна локальная чистая зона, одежда и другие манипуляции. В этом все есть вопрос.

Я говорю о том, что импортозамещение для нас, оно не только в материалах. У нас, например, нет производства ПВД.


12:17
На самом деле, самое главное ноу-хау это технология.

А как собрать? Вот мы все купили, у нас все есть. А ты попробуй собери так, чтобы заказчик запустил, начал эксплуатировать и вода получилась та, которую мы обещали.

Вот в микроэлектронике это особенность. Надо использовать, знать, что использовать, еще знать, как собрать в каких условиях. И что на что влияет.

Можно нагородить тоже такой огород, а ведь все это деньги, и заказчик должен за это заплатить. А платить за то, что не влияет на качество, смысла нет. Мы на таком уровне. Мы не производим пластик, там ультрачистый и остальное, но и в России его пока не производят, к сожалению.


12:54 
Перед нами сварочная машина ER63 Plus для инфракрасной сварки пластиковых трубопроводов и фитингов. Она применяется максимально полно в микроэлектронике по нескольким причинам. Во-первых, по причине специфичности материала ПВД.

Он поддерживает не каждую технологию сварки. Надежный сварной шов получается при инфракрасной сварке и при бесшовной сварке. Также есть еще вариант муфтовой сварки. Мы его не применяем в своей работе по причине того, что чистоту он не обеспечивает нужную. 


13:34
Может начать нужно прямо еще дальше? Почему нельзя такие трубопроводы сваривать при помощи паяльника для пластиковых труб?

Смотрите, сваривать их можно. Бытовой паяльник для пластиковых труб подойдет и для этого материала в случае, если он используется, например, для химических стоков, для канализации, где и у нас сливается серная кислота, соляная и так далее. Там важна только химстойкость материала.

Чистота там не важна. Там подойдет любой из вариантов сварки. Главная задача, чтобы он был максимально надежный, потому что жидкость идет агрессивная. Если будет прорыв, будут большие проблемы. 

Когда мы говорим об ультрачистой воде, нам очень важно не привнести из материала никакое загрязнение вторичное в воду. То есть мы на станции водоподготовки чистим эту воду, потом даем ее в транспортировочные трубопроводы.

Если трубопровод плохо сварен, либо он сам по себе некачественный, мы эту воду загрязним. Соответственно, мы заказчику, пользователю, не дадим нужное качество, он не сможет запустить производство. И в микроэлектронике только этот способ гарантирует нам, во-первых, надежность, во-вторых, чистоту, и в-третьих, отслеживаемость качества шва, поскольку аппарат по завершению сварки на каждый шов выдает протокол, в котором написаны все параметры, и в конце окей, не окей.

То есть если все параметры в допуске, есть внизу галочка окей, все, шов надежен в обязательном порядке. После того, как мы разрезали, нам необходимо протереть торцы, потому что они свариваются встык. Это стыковая сварка.

Поскольку режущий инструмент металлический может иметь на себе следы смазки, какой-то пыли и так далее. К слову сказать, в реальных условиях данные работы выполняются в помещениях частоты класса не ниже ISO 7, которые контролируются, то есть мониторятся постоянно счетчиком частиц, мониторится скорость движения воздуха, поскольку для данного аппарата скорость движения воздуха тоже критична. Здесь, соответственно, указывается имя сварщика и место работы, то есть конкретный объект, для того, чтобы нам прослеживать, кто варил, когда варил, на какой площадке.

Очень важный момент. Запрещено использовать ножовки, пилы, напильники. Резка идет только орбитальным труборезом, поскольку иначе будет образовываться пыль, которую будет сложно удалить.

Все, четко в ноль. Он нам дает разрешение дальше на сварку. Нажимаем ОК.

Обязательно, после того, как мы отторцевали, снова чистим. 

Ни единого шанса оператору ошибиться не дает. 

Очень сложно, да, очень сложно. Команда «Вставьте нагреватель». Вставляем нагреватель до упора. Сводим.


16:56 
То есть нагреватель между трубами сначала. 

Да, сводим, и он нам дает время на нагрев. Это у него время на нагрев по программе.

За 3 секунды до окончания времени нагрева он начинает пищать, чтобы оператор был готов. Вот сейчас самый важный момент в этой процедуре. У нас есть всего 2-2,5 секунды для того, чтобы развести, чтобы нагреватель ушел, и свести обратно.

Если мы в это время не уложились и не свели, шов некондиционный. Вот, смотрите, все, сварка завершена. Он сохранил.

Нажимаем ОК. Сохраняем протокол. Все, сварка завершена.

Соответственно, диаметры эта машина берет от 20-го до 63-го. 

Вот эти вкладыши, да? 

Да, вкладыши меняются под задачу. И, соответственно, в таком режиме это все работает.


17:49
Все еще осложняется тем, что это все-таки вспомогательная система. И о ней вспоминают в самый последний момент, когда уже купили технологию, оборудование. А потом, ой, кажется, вода нужна. Аквафор почему-то не подходит. Все удивляются, почему же.


18:03
Ну, а вы не хотите в сторону производства каких-нибудь установок двинуться?

Ну, как же? Сами установки, вот, например, установки мы производим. Мы не производим компоненты, потому что установка может содержать в себе 200-300 компонентов.


18:20
А, то есть это заказная каждый раз установка, индивидуальная?

У нас есть и стандартные установки, да? Вот линейки на разную производительность. Но все компоненты мы производить не можем, потому что это просто нужно, это нереально.

Мы просто знаем, где эти компоненты взять. Но еще раз обращу внимание, что вот такие компоненты предподготовки большие. У нас есть большой цех в Туле. И там, условно говоря, из листов металла глубина переработки получается очень высокая. Из листов металла мы делаем такие фильтры.


18:51
То есть вы такие установки, в принципе, можете не только для заводов производства микроэлектроники? Для любых. А для коттеджных поселков поставлять, скажем так?

В принципе, мы работаем вообще в любой отрасли, там, где используется вода. Поэтому это только наш маленький кусочек микроэлектроника. Просто так исторически сложилось, что у нас владелец компании, он тесно связан с областью микроэлектроника, он разработчик лазеров.

И в свое время его учитель как-то попросил, ну, мне нужна ультра чистая вода. И вот мы занялись таким вот подходом.


19:22
На самом деле, да, вот действительно. Мы же говорили только про электронику, ещё и фармакалогия. Какая-то микробиология, наверное. Молекулярная биология, геномная какая-то инженерия. 

Конечно, особенно сейчас фарма же какая пошла. Генная инженерия и разные моноклональные антитела, и масса еще чего. И там уже они присматриваются к воде для микроэлектроники такого качества.


19:45
То есть там, в принципе, не требуется пока такое качество как для микроэлектроники?

Массово не требуется, но они уже к этому подвигаются. Потому что, в принципе, так исторически сложилось, что фармацевты смотрят на микроэлектронщиков и в них копируют системы. То, что им кажется, сначала что-то вы там намудрили, потом они их просто берут и используют.


20:04 
Особенно микробиология какая-то. Особенно микробиология.

Ну микробиология – это же частицы, фактически. Приемственность есть везде. Потому что, допустим, чтобы получить воду для микроэлектроники чистую, сначала бы нужно протестировать и получить питьевую хотя бы. Потому что там нужно удалить жесткость, общее солесодержание. А это стандартные методы получения питьевой воды.


20:25
Кому из ваших клиентов потребовалась самая чистая вода?

Ну, наверное, самая чистая вода потребовалась в МИЭТу, в лабораторию, которая оттестует чистоту материалов. То есть они анализируют воду на предприятии. 


20:42
Как эталон используют?

Им нужен как эталон. То есть нужно совсем в ноль. Все примеси, чтобы ушли в ноль. Для того, чтобы... Ну, у них все равно какой-то фон есть, чтобы отличить качество той воды, которая на производстве.


20:56 
То есть эта вода, которая для них создается, она даже лучше, чем требует этот ГОСТ?

В ГОСТе есть последний тип воды, который, в принципе, пока в России никто не произвел. Такого уровня воду. Но есть один нюанс. На самом деле сейчас примеси в воде такой уровень имеют, что для, например, некоторых частиц нет аналитики. То есть как определяют производители выход годных продукций? Они смотрят на выход годности.

Если больше 90%, все хорошо. Значит, и вода, и все компоненты, все проверено, отмыто. Если вдруг какие-то они компоненты меняют, у них выход падает, аналитика, они могут даже не ощутить по аналитике ничего, никаких изменений.

Но у них выход падает, они ищут. Это так называемый проактивный подход. Это стандартный уже такой подход.


21:51 
То есть мы не загрязненность воды меряем, а меряем процент годного продукта.

Потому что не всегда это напрямую зависит. Еще такой интересный момент, конечно, что чем дольше система работает, все вот эти гиганты, которые производят, один, там нанометр, три, вы думаете, что они построили новый завод, чтобы делать новую водоподготовку? Нет, конечно.

Чем дольше работает система водоподготовки, тем меньше, она больше отмывается, материалы все меньше и меньше туда понятно.


22:21
Казалось бы, наоборот должно быть, странно. Из бытовой логики исходя. 

Можно подумать, что там что-то стареть должно быть или еще что-то, но вот по факту в определенный временной диапазон, понятно, что там не 250 лет, а в определенном диапазоне, может, лет 20. Это как раз такая тенденция.

Все время вода становится чище, чище и чище от момента запуска. Ну и, конечно, все эти передовые компании никогда не раскроют по факту свою спецификацию своей воды, потому что та же спецификация, которая приведена в SEMI и ASTM, это уже минус лет 10, наверное.


22:57
Сейчас первый день выставки, в общем, первый день не всегда бывает самый, конечно, ажиотажный. Как вам вот сама выставка и интерес к вашему стенду?


23:08
Ну, вообще, я пришел на выставку и удивился, что она вообще довольно-таки обширная. Мы принимали участие в форумах по микроэлектронике. И на самом деле у меня впечатление такое, что государство...

Вот у меня две темы, я всегда их сравниваю. Будучи на фармацевтических выставках и на микроэлектронике, я всегда с неким воодушевлением посещаю выставки по микроэлектронике, потому что здесь немножко другой вайб, я бы так сказал. Люди прямо вот нацелены на результат.

И мы выпустили, на самом деле, два госта вот по микроэлектронике и по фарме. В фарме этот гост просто, ну, можно сказать, вытрепал нам все нервы. Вот сейчас мы подготовили вторую редакцию. Просто все встали на дыбы, что мы там написали, хотя общественные слушания, все обсуждали. И, ну, такой негатив, потому что фарма очень консервативная такая отрасль. И очень некомфортно себя там чувствуешь.

А здесь с точностью до наоборот. Мы получили ни одного отрицательного отзыва, хотя я понимаю, что есть специалисты, которые вот просто, не знаю там, 30-40 лет этим занимаются. И, конечно, они могли бы что-то сокритиковать.

Они были рады, что появился такой документ. Вообще рады вниманию. И вообще люди такие настроенные на позитив, на цель, на достижение какой-то цели.

И с каждым годом я вижу все больше и больше интереса. Уже то, что у нас две компании, две компании по водоподготовке тут находятся, на этой выставке. Это уже большой прогресс. Потому что раньше, ну что, были готовые изделия. А сейчас это вспомогательная вообще система. И мы демонстрируем готовые продукты, которые могут быть использованы, востребованы.

Конечно, это прям прогресс, воодушевляющее, так сказать.

© СТА-ПРЕСС, 2026