Якименко Светлана (АО «НПК МЕДИАНА-ФИЛЬТР»)

электроника

Частицы в ультрачистой воде

Статья написана по материалам международной технологической дорожной карты для полупроводников (IRDS™ 2023) и посвящена обзору технологии контроля концентрации частиц в ультрачистой воде. СЭ №4/2024 1170 0 0