Фильтр по тематике
электроника
Электроконденсационный метод синтеза кремния, углерода и карбида кремния
Выявлены и обоснованы преимущества электроконденсационного метода. Авторами проведено исследование вышеуказанного метода, дано его описание, сформулированы характеристики, необходимые для технологического применения. СЭ №2/2015 1106 0 0