Фильтр по тематике
автоматизация
Автоматизированная система управления вакуумным технологическим оборудованием
Статья посвящена автоматизации вакуумного технологического оборудования серии Irida компании «ЭСТО-Вакуум», которое используется для напыления, травления и осаждения различных материалов. Описана концепция программного обеспечения, позволяющего масштабировать его практически для любого проекта АСУ ТП.
СТА №2/2015 2091 0 0